poly residue1 [논문 Review] Removal Poly Gate (RPG) 공정 중 발생하는 Poly residue 불량 Removal Poly Gate (RPG) 공정 중 발생할 수 있는 Poly residue 불량에 대해 포스팅해보겠습니다. Poly Residue 불량은 FinFET 공정의 주요한 불량입니다. 제가 참고한 논문은 아래와 같습니다.Using Post Etch Treatment (PET) to Resolve Poly Residue Defect Issue of Dummy Poly Removal (DPR) in hi-K Metal Gate Processing1. Removal Poly Gate (RPG) 공정 도입 배경Removal Poly Gate (RPG) 공정은 Gate Last 공정에서 새롭게 도입된 방식입니다. Metal Gate를 형성하기 전에 amorphous 실리콘으로 Dummy Gate를 먼저 .. 2025. 5. 3. 이전 1 다음
