lpcvd1 [논문 Review] Oxide Fixed Charge 형성 매커니즘 Oxide 막질에는 다양한 Charge가 있습니다. 계면에서 발생하는 ① Interface Trapped Charge, 산화막 내에서 이동하는 ② Mobile Charge, 산화막 내에 고정되어 있는 ③ Oxide Trapped Charge ④ Oxide Fixed Charge가 있습니다. 이들은 트랜지스터의 전기적 성질을 변화시키기 때문에 제어하는 것이 매우 중요합니다. 이번 포스팅에서는 Oxide Fixed Charge 형성 매커니즘 및 소자에 어떠한 영향을 미치는지 정리해보겠습니다. https://www.enigmatic consulting.com/semiconductor_processing/selected_shorts/Charge_in_dep_oxides.html Charge in Deposite.. 2025. 6. 3. 이전 1 다음
