7nm1 [논문 Review] Single, Double Diffusion Break(DDB, SDB) 공정의 FinFET 소자에서의 기술 발전 이번 포스팅은 SDB, DDB에 관련한 내용입니다. 공정을 하시는 분들이라면 SDB, DDB에 관련된 내용을 많이 들어보셨을 거 같습니다. 참고한 논문은 아래와 같습니다.Single and Double Diffusion Breaks in 14nm FinFET and Beyond 해당 문헌에서는 SDB, DDB에 따른 LDE(Layout Dependent Effect)와 Tech가 고도화되면서 해당 공정에 대한 변화를 설명하고 있습니다. 먼저 간단하게 LDE의 개념과 SDB, DDB에 대해 설명하고 논문 Review를 진행하겠습니다. 1. Layout Dependent Effect (LDE)Layout Dependent Effect는 반도체 소자의 배치나 형상이 소자의 동작 특성에 미치는 영향을 설명합니다.. 2024. 11. 17. 이전 1 다음
