gate cut1 [논문 Review] Gate Cut Last 공정 및 Gate extension scaling 효과 이번 포스팅은 Gate Cut Last 라는 공정과 Gage extension이 주는 효과에 대해 얘기하겠습니다. 제가 참고한 논문은 아래와 같습니다.Gate-Cut-Last in RMG to Enable Gate Extension Scaling and Parasitic Capacitance Reduction 논문 Review에 앞서 Gate Cut과 Gate 공정의 변화에 대해 설명하겠습니다.1. Gate Cut먼저 Gate Cut이란 무엇인지, 왜 필요한지 설명하겠습니다. CMOS는 N, PMOS의 조합으로 이루어져있습니다. 이때 N, PMOS가 같은 Node, 즉 전위를 공유한다면 연결되어 있어야합니다. 하지만 서로 연결되지 않아야 한다면 전기적으로 끊겨있어야 하며 Gate Cut을 진행해주어야 합.. 2025. 2. 16. 이전 1 다음
